an
1 | Max.Aarbechtsdrock 20,6 Mpa. |
2 | Max.Aarbechtstemperatur 204 ℃ (Héichtemperaturëmfeld bis 454 ℃, zu dëser Zäit gëtt d'Versiegelungsmaterial duerch erweidert Grafit ersat) |
3 | Filtersystem Partikelverschmotzung, Gase, Flëssegkeete sinn applicabel. |
4 | Edelstahl Pulver Metallurgie gesintert Filterfilter Genauegkeet 2μm ~ 40μm |
5 | Filterflow 1x 10 -6~1 × 10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filter kann geännert ginn. |
Produit Fonctiounen vun Filter
1 | Breet Uwendungsberäich, Flowbereich vu 15 bis 300SL / min. |
2 | Et huet gutt Kompatibilitéit mat de meeschte High-Purity Halbleiterprozessgasen. |
3 | 3 Nanopartikel Filtratiounskapazitéit hält héich Floweffizienz an ultra-klengen Drockfall. |
4 | 5Ra electropolished Uewerfläch kann intern Pollutioun verhënneren. |
5 | Bake mat waarme Stickstoff nom deioniséierte Waasser fir Halbleiterprozessnormen z'erreechen. |
6 | 1000 Niveau Stëbs-gratis aseptesch Workshop Fabrikatioun, Botzen a Verpakung Ëmfeld. |
7 | Test fir 100% Helium Leckage. |
Inlet | Outlet | |
1 | 1/8" Tube Fitting | 1/8" Tube Fitting |
2 | 1/4" Tube Fitting | 1/4" Tube Fitting |
3 | 3/8" Tube Fitting | 3/8" Tube Fitting |
4 | 1/2" Tube Fitting | 1/2" Tube Fitting |
5 | 6MM tube fitting | 6MM tube fitting |
6 | 8MM tube fitting | 8MM tube fitting |
7 | 10 MM tube fitting | 10 MM tube fitting |
8 | 12MM tube fitting | 12MM tube fitting |
9 | 1/8 ″ weiblech NPT | 1/8 ″ weiblech NPT |
10 | 1/4 ″ weiblech NPT | 1/4 ″ weiblech NPT |
11 | 1/4 ″ Männlech NPT | 1/4 ″ Männlech NPT |
12 | 3/8 ″ Männlech NPT | 3/8 ″ Männlech NPT |
13 | 1/2″ Männlech NPT | 1/2″ Männlech NPT |
Produit Leeschtung Parameteren vun Filter
1 | Filter Genauegkeet | ≥0,0025 μm | |
2 | Filtratioun Effizienz | Ewechhuele Taux99,99999% ≥0,0025μm | |
3 | Bewäert Flux | 15 l/min | |
4 | 60 l/min | ||
5 | 120 l/min | ||
6 | 200 l/min | ||
7 | 300 l/min | ||
8 | Filter Zesummesetzung | filterelement | 316L/PTFE |
9 | Wunnengen | STAINLESS Stol 316L | |
10 | Aarbechtskonditiounen | Maximum Inlet Drock | 21Mpa (310 kgf/cm2) |
11 | Maximum differentiell Drock | 15 Mpa (153 kgf/cm2) | |
12 | Maximal Operatioun Temperatur | 430 ℃ (inert Gas) | |
13 | Helium Leckage Taux | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Surface Finish | ≤Ra 5μin |