Als Sememandulantiker baséierendruechter fir Rengheet an d'Genauegkeet ginn méi streng. Eng vun den Bestëmmungsfaktoren an der Qualitéit vun der Semikonductorhorator ass d'Gase déi am Prozess benotzt goufen. Dës Gase spillen vill Rollen am Fabrikatiounsprozess, dorënner:
Präzisiounsprozess Kontroll
Kontaminatioun Präventioun
Metallurgescht Eegentum Erweiderung
Dës Releniss ze punkterzuelen, kann d'Gaspiche sensibel, och indeelentu gin. Den Design vun de Gashandhabungssystemer, déi an der Semikondhershausen, musse vu robuste Komponenten ënnerstëtzt ginn an personaliséiert Verkënnegung an héich Qualitéitsproduktioun vun der Hallefproduktioun vun der Hallefproduktioun vum Hallefproduktioun.
Gase benotzt am SemikonductorThorcours
De Prozess vun der Fabrikatioun vun der Haferbezuelung erfuerdert d'Benotzung vu verschiddene Gase bei verschiddenen Etappen vum Prozess.
An der Wollek ewéi dem Witzonzoffen, Wolfololz, Arrem an Helden ka benotzt, wat an der renger Formater benotzt ginn, spezialiséiertem Minoratiounen, déi gewëssesch Mornisseure erfuerderen. Silanes oder Siloxanes, Hexafluoride, Halputen a Hydrocarbons sinn e puer vun de Spezialitéitsgaueren, déi an der Semikallandhaber benotzt ginn. Vill vun dësen Gase kënnen geféierlech oder héich reaktiv sinn, erstellen fir Erausfuerderung an Design vu Kompetenzen fir Gas Systemer.
Hei sinn e puer Beispiller:
\ Waasserstoff an Helium kann einfach aus Pipen a passen Systemer feieren wéinst hirer klenger atomescher Gréisst a Gewiicht.
\ Silanes si ganz brennbar a ka spontan verbrennen (autoignite) an der Loft.
E neie Niterialing deen am Ofkommes benotzt gouf, gouf den Hegus an Chamber engagéiert Opmierksamkeetssëschtung ginn, gëtt Treephausgasour, deen an d'Ëmwelt geklomme gëtt.
\ Waasserstoff Fluoride (etching Gas) ass héich korrosiv fir Metallpuffer.
\ Triimethylgggallium an AMMANIA kann schwéier sinn ze handelen - kleng Schwankungen an hirer Temperatur an Drock Ufuerderunge kënnen d'Depositiounsprozess beaflossen.
Kontrolléiere vun de Prozessbedéngungen ze kontrolléieren fir déi negativ Zwecker vun dësen Gase ze reduzéieren mussen en Top Prioritéit wärend der System Design sinn. Et ass geweld ze benotzen, déi héchst Qualitéit Kompstänn wéi Afken ze benotzen.
Adressing System Design Erausfuerderungen
SIMINEWENCENUKTORIC GASSASE IWISS IWWERT E WASEN vun DEN RENITIOUN A LESCHT Optiounen a Verfassungszeegungen an der Eschéchtungen. Leckage oder Kontaminatioun vun esou Gase kënnen negativ Effekter hunn. Dofir ass et kritesch fir Respons fir de System Komponitiv bei de Systemquetenzen gewiesselt, datt et gutt Rendez-vous ass (wat et extrem héich Safel fäerdeg ass (elektresche Sucht an deem en exzellent Polierung.
Zousätzlech, e puer vun dëse Gase kënnen gehëtzt oder ofgekillt fir gewënschten Prozessbedingungen ze erreechen. Well-isoléiert Komponenten déi Temperaturkontrolle sinn, déi kritesch fir effizient Leeschtung vum leschte Produkt ass.
Aus der Quell Inlet op de Wuelsëtz, afk breet Palette vun de Komponenten ënnerstëtzen d'Ultra-héijer Puritéit, Demach- a Floumkontrolle fir AMMUMUMMORCTORS an Stammerstécker an Stammeren
Designt Systemer mat Qualitéitskomponenten am Semikonductors fabs
D'Chance Quilitéit Komponatioun an den Design Optimal gëtt kritesch un der genau Kontroll a séchere Föuchert vu verschiddenen Fabrikante vun der Reinkugriote. D'Komponente déi benotzt goufen, musse robuste sinn an d'Larakfräi fir déi variéierend Prozessbedingungen ze passen, déi zu verschiddene Stänn vun der Fabrikatioun vun der Fabrikéierung bestehe sinn, a Leitbelen, Arméi, Virléiften, Erhuelungen, an de folgende Funktiounen.
Ultra-héich Rengheet
Leck-gratis Seals
Temperatur kontrolléiert Insulatioun
Drock Kontroll
Korrosioun Resistenz
Elektrolytesch poléierend Behandlung
Postzäit: Oct-09-2023