High-Purity Gas Piping Technologie ass e wichtege Bestanddeel vum High-Purity Gas Versuergungssystem, wat de Schlësseltechnologie ass fir den erfuerderleche High-Purity Gas op de Punkt vum Gebrauch ze liwweren an nach ëmmer déi qualifizéiert Qualitéit z'erhalen;High-Purity Gasleitungstechnologie enthält de korrekten Design vum System, d'Auswiel vun Armaturen an Accessoiren, Konstruktioun an Installatioun, an Testen.An de leschte Joren hunn déi ëmmer méi streng Ufuerderunge fir d'Rengheet an d'Gëftstoffgehalt vu héichreinege Gase bei der Produktioun vu Mikroelektronikprodukter vertruede vu grousser integréierte Circuiten d'Pipingtechnologie vun héichreinege Gasen ëmmer méi besuergt a betount.Déi folgend ass e kuerzen Iwwerbléck iwwer héich Puritéit Gasleitungen aus der Materialauswielof Bau, souwéi Akzeptanz an deeglech Gestioun.
Aarte vu gemeinsame Gasen
Klassifikatioun vun gemeinsam Gasen an der elektronescher Industrie:
Gemeinsam Gase（Bulk Gas): Waasserstoff (H2), Stickstoff (N2), Sauerstoff (O2), Argon (A2), etc.
Spezial Gasesinn SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHC 3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… etc.
D'Zorte vu spezielle Gase kënnen allgemeng als korrosiv klasséiert ginngass, gëfteggass, brennbargass, brennbargass, inertgass, etc.. Déi allgemeng benotzt Hallefleitgase ginn allgemeng wéi follegt klasséiert.
(i) Korrosiv / gëfteggass: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… etc.
(ii) Brennbarkeetgass: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO, etc.
(iii) Brennbarkeetgass:O2, Cl2, N2O, NF3… etc.
(iv) Inertgass: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He … etc.
Vill Halbleitergase si schiedlech fir de mënschleche Kierper.Besonnesch e puer vun dëse Gasen, wéi SiH4 spontan Verbrennung, soulaang e Leck hefteg mam Sauerstoff an der Loft reagéiert a fänkt un ze brennen;an AsH3héich gëfteg, all liicht Leckage kann de Risiko vum Mënscheliewen verursaachen, et ass wéinst dësen offensichtleche Gefore, sou datt d'Ufuerderunge fir d'Sécherheet vum Systemdesign besonnesch héich sinn.
Applikatioun Ëmfang vun Gasen
Als wichteg Basis Rohmaterial vun modern Industrie, Gas Produite sinn wäit benotzt, an eng grouss Zuel vun gemeinsam Gasen oder speziell Gase sinn an Metallurgie benotzt, Stol, Petrol, chemesch Industrie, Maschinnen, Elektronik, Glas, Keramik, Baumaterial, Bau , Liewensmëttel Veraarbechtung, Medezin a medezinesch Secteuren.D'Applikatioun vum Gas huet e wichtegen Impakt op d'Héichtechnologie vun dëse Felder besonnesch, an ass säin onverzichtbare Rohmaterial Gas oder Prozessgas.Nëmme mat de Bedierfnesser a Promotioun vu verschiddenen neien Industriesecteuren a moderner Wëssenschaft an Technologie kënnen d'Gasindustrieprodukter mat Sprangen a Grenzen a Saache Varietéit, Qualitéit a Quantitéit entwéckelt ginn.
Gasapplikatioun an der Mikroelektronik an der Hallefleitindustrie
D'Benotzung vu Gas huet ëmmer eng wichteg Roll am Halbleiterprozess gespillt, besonnesch de Halbleiterprozess gouf wäit a verschiddenen Industrien benotzt, vun der traditioneller ULSI, TFT-LCD bis zur aktueller Mikro-elektro-mechanesch (MEMS) Industrie, all vun déi de sougenannte Hallefleitprozess als Fabrikatiounsprozess vu Produkter benotzen.D'Rengheet vum Gas huet en entscheedende Impakt op d'Performance vun de Komponenten an d'Produktnodeeler, an d'Sécherheet vun der Gasversuergung ass mat der Gesondheet vum Personal an der Sécherheet vun de Planzoperatioune verbonnen.
D'Bedeitung vun héich-Rengheet Päif an héich-Rengheet Gas Transport
Am Prozess vun der Edelstahl Schmelzen a Material ze maachen, kënnen ongeféier 200g Gas pro Tonn absorbéiert ginn.No der Veraarbechtung vun Edelstahl huet net nëmmen seng Uewerfläch klebrig mat verschiddene Verschmotzungen, awer och a sengem Metallgitter och eng gewësse Quantitéit vu Gas absorbéiert.Wann et Loftfloss duerch d'Pipeline ass, absorbéiert d'Metall dësen Deel vum Gas erëm an d'Loftfloss eran, an de pure Gas verschmotzt.Wann de Loftfloss am Röhre diskontinuéierleche Floss ass, adsorbéiert d'Röhre de Gas ënner Drock, a wann de Loftfloss ophält laanscht ze goen, bildt de Gas, deen vum Röhre adsorbéiert ass, en Drockfall fir ze léisen, an de opgeléiste Gas geet och an de pure Gas an d'Röhre. als Gëftstoffer.Zur selwechter Zäit ginn d'Adsorptioun an d'Resolutioun widderholl, sou datt d'Metall op der banneschten Uewerfläch vum Röhre och e gewësse Betrag vu Pulver produzéiert, an dës Metallstaubpartikel verschmotzen och de pure Gas am Röhre.Dës Charakteristik vum Röhre ass essentiell fir d'Rengheet vum transportéierte Gas ze garantéieren, wat net nëmmen eng ganz héich Gläichtheet vun der banneschten Uewerfläch vum Röhre erfuerdert, awer och eng héich Verschleißbeständegkeet.
Wann de Gas mat staarker korrosiver Leeschtung benotzt gëtt, musse korrosionsbeständeg Edelstahlleitungen fir Päifen benotzt ginn.Soss wäert d'Päif Korrosiounsflecken op der bannenzeger Uewerfläch produzéieren wéinst der Korrosioun, an a schlëmme Fäll gëtt et e grousst Gebitt vu Metallstrippen oder souguer Perforatioun, wat de reinen Gas kontaminéiert gëtt fir ze verdeelen.
D'Verbindung vu héijer Rengheet an héijer Propretéit Gastransmission a Verdeelungsleitungen vu grousse Flowraten.
Prinzipiell sinn se all verschweißt, an d'Réier déi benotzt gi sinn erfuerderlech keng Verännerung vun der Organisatioun ze hunn wann d'Schweiß ugewannt gëtt.Material mat ze héije Kuelestoffgehalt ënnerleien d'Loftpermeabilitéit vun de verschweißten Deeler beim Schweißen, wat d'géigesäiteg Pénétratioun vu Gase bannent an ausserhalb vun der Päif mécht an d'Rengheet, d'Trockheet an d'Sauberheet vum iwwerdroene Gas zerstéiert, wat zu de Verloscht vun all eis Efforten.
Zesummegefaasst, fir héich Rengheet Gas a speziell Gas Transmissioun Pipeline, ass et néideg eng speziell Behandlung vun héich-Rengheet STAINLESS Stol Päif ze benotzen, héich-Rengheet Pipeline System ze maachen (dorënner ëmgeluecht, Armature, Ventile, VMB, VMP) an héich Puritéit Gasverdeelung besetzt eng vital Missioun.
Allgemeng Konzept vu propperer Technologie fir Iwwerdroung a Verdeelungsleitungen
Héich reng a propper Gas Kierper Transmissioun mat Päif heescht, datt et bestëmmte Viraussetzunge oder Kontrollen fir dräi Aspekter vum Gas transportéiert ginn.
Gas Rengheet: Den Inhalt vun Gëftstoffer Atmosphär am gGas Rengheet: Den Inhalt vun Gëftstoffer Atmosphär am Gas, normalerweis als Prozentsaz vun Gas Rengheet ausgedréckt, wéi 99,9999%, och ausgedréckt als de Volume Verhältnis vun Gëftstoffer Atmosphär Inhalt ppm, ppb, ppt.
Dréchheet: d'Quantitéit u Spuerfeuchtigkeit am Gas, oder de Betrag genannt Nassheet, normalerweis ausgedréckt a punkto Taupunkt, sou wéi Atmosphärendrock Taupunkt -70.C.
Propretéit: d'Zuel vun de kontaminant Partikelen am Gas enthale, Partikelgréisst vun µm, wéi vill Partikelen / M3 auszedrécken, fir kompriméiert Loft, normalerweis och ausgedréckt wéivill mg/m3 vun onvermeidleche feste Reschter, déi den Ueleggehalt deckt .
Pollutant Gréisst Klassifikatioun: Pollutant Partikel, bezitt sech haaptsächlech op Pipeline scouring, Verschleiung, Korrosioun generéiert vu Metallpartikelen, atmosphäresche Rouspartikelen, souwéi Mikroorganismen, Phasen a Feuchtigkeithaltege Gaskondensatiounsdrëpsen, etc., no der Gréisst vu senger Partikelgréisst ass opgedeelt an
a) Grouss Partikel - Partikelgréisst iwwer 5μm
b) Partikel - Material Duerchmiesser tëscht 0,1μm-5μm
c) Ultra-Mikro-Partikel - Partikelgréisst manner wéi 0,1μm.
Fir d'Applikatioun vun dëser Technologie ze verbesseren, fir perceptuell Verständnis vu Partikelgréisst an μm Eenheeten ze kënnen, gëtt eng Rei vu spezifesche Partikelstatus zur Referenz zur Verfügung gestallt.
Déi folgend ass e Verglach vu spezifesche Partikelen
| Numm / Partikelgréisst (µm) | Numm / Partikelgréisst (µm) | Numm / Partikelgréisst (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Aerosoliséierter Mikrodrop 1-12 |
| Nuklear Brennstoff 0,01-0,1 | Faarwen 0,1-6 | Fly Äschen 1-200 |
| Kuelestoff schwaarz 0,01-0,3 | Mëllechpulver 0,1-10 | Pestizid 5-10 |
| Harz 0,01-1 | Bakterien 0,3-30 | Zement Stëbs 5-100 |
| Zigarettendamp 0,01-1 | Sand Stëbs 0,5-5 | Pollen 10-15 |
| Silikon 0,02-0,1 | Pestizid 0,5-10 | Mënsch Hoer 50-120 |
| Kristalliséiert Salz 0,03-0,5 | Konzentréiert Schwiewel Stëbs 1-11 | Mier Sand 100-1200 |
Post Zäit: Jun-14-2022